Für die Halbleiterindustrie bietet MPH spezielle Prüftechnik und Inspektionslösungen unter Reinraum-Bedingungen an. Dafür haben wir partikelfreie Robotersysteme von Genmark oder ISIS im Einsatz. In unsere Prüfanlagen integrieren wir moderne Kamera-Inspektionstechnik, oft in Kombination mit patentierter Beleuchtungstechnik. Damit führen wir Prüfanforderungen durch wie Schichtdickenmessung, Oberflächeninspektion, Profilmessung, Rauigkeitsprüfung, Wafer-Inspektion und vieles mehr.
Auch für Sonderanwendungen im Reinraum-Bereich ist die Technik von MPH Prüfautomation gerüstet. Bei Wafern, die geklebt werden müssen, messen wir z. B. die Höhe des Kleberauftrags per Profilscan im Reinraum. Bei Keramikschaltungen messen wir die Werte von aufgedruckten Widerständen unter Reinraumbedingungen. Wir liefern Lösungen für: